它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。

　　無油活塞真空泵的特點：

　　1、在使用真空，排氣的場合也不含有油份，不會像油式真空泵那樣對作業環境或制品造成污染，能夠在各個領域使用。

　　2、與油式真空泵相比，不需要給泵加油，基本不需要點檢和檢修。

　　3、運費聲音低，使用壽命長。同時裝備有真空壓力表，調壓控制器。

　　4、由于使用了特殊的自潤滑碳精片，具有很強的耐磨性。

　　5、由于能夠高速運轉，因此可以與電機直連。這樣可使泵小型化。

　　6、由于多枚滑片的高速回轉，可使脈動很小，吸排氣穩定。

　　無油活塞真空泵適用于高壓、小流量的場合，特別是流量小于100米3/小時，排出壓力大于9.8兆帕時，更顯示出它較高的效率和良好的運行性能。它吸入性能好，能抽吸各種不同介質、不同粘度的液體。因此，在石油化學工業、機械制造工業、造紙、食品加工、醫藥生產等方面應用很廣。低中速活塞泵速度低，可用人力操作和畜力拖動，適用于農村給水和小型灌溉。